K-mate必威中国及匹配器针对不同负载选择相对应的阻抗匹配器
来源: admin   发布时间: 2015-08-18   1508 次浏览   大小:  16px  14px  12px
首先在使用K-mate产品时,要明确应用设备的负载是容抗负载还是感抗负载,根据不同类型的负载选择相适应的必威客户端匹配器。(在采购或调试时告知我司销售人员或技术人员)。容抗负载多指的是真空腔体内电极放电,如磁控溅射,等离子清洗,RIE反应刻蚀,平板PECVD.感抗负载多指是通过线圈耦合等离子体放电,如管式PECVD,ICP刻蚀,必威客户端感应加热等。在选用我司500W功率的必威中国时,容抗负载建议选择VENA-500(0010+00077),感抗负载时应选择VENA-500(0010+00077)并告知负载线圈的规格如铜管的大小,线圈的内径,圈数,及间距。以便我们在出厂时做好调试。在选用1000W匹配器时也需如此。