Power open power, L, T value to 99% after the can not afford to
来源: admin   发布时间: 2015-08-18   864 次浏览   大小:  16px  14px  12px

1.如果之前是能正常使用的，出现这种情况多数是负载发生变化导致匹配范围超出如真空度，腔体发生变化。

2.如果腔体及靶材没有发生变化，可以检查一下预置位置是否太偏。可以尝试取一个T/L 50%的预置点来重新匹配。或者尝试手动调节T/L是否能够达到匹配。

上一条：After power supply power, the PF output power is unstable, and the fluctuation range is very large.    
下一条：After power is turned on, can not add power or operating panel button