KM-700D
分类: 必威客户端匹配器
发布时间: 2017-11-14
详细介绍
KM-500D匹配器是一款手动匹配器,可以应用于任何必威客户端功率发生器。可用于真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,。可选的必威客户端系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、必威客户端信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。
优势
●性能安全可靠,长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高,运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控制盒,与其他必威客户端功率发生器配合使用
特点
●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试
使用参数:
匹配功率范围 | 0-500W |
工作频率: | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配时间 | <3S |
传输效率 | >90% |
匹配器电源 | AC220V/50-60HZ |
输入连接器 | N型 |
输出连接器 | UHF |
控制模式 | 手动 |
匹配阻抗范围 | 实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗) |
匹配器尺寸 | 480X380X132MM |
整机重量 | 5.5KG |
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